著录信息
- 专利名称：一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201720014159.8
- 公开(公告)号：CN206470585U
- 申请日：20170106
- 公开(公告)日：20170905
- 申请人：北京彩讯科技股份有限公司
- 发明人：姚星星,陈莫发
- 申请人地址：100193 北京市海淀区东北旺西路8号中关村软件园8号楼301室
- 申请人区域代码：CN110108
- 专利权人：北京彩讯科技股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：G05B19/05,C23F1/46
- 优先权：无
- 专利代理机构：北京神州华茂知识产权有限公司 11358
- 代理人：吴照幸
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
连通,流量计,气体浓度检测,抽风机,电解槽,电连接,主机,本实用新型,废液收集槽,废液收集罐,网路交换机,再生液罐,调整槽,蚀刻机,药罐,子液,气体浓度传感器,蚀刻液回收系统,远程监控电脑,网络摄像机,温度传感器,液位传感器,监控电脑,经济损失,远程诊断,智能监控,自动监控,再生,废气塔,水泵,节约,维修
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