著录信息
- 专利名称：一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201420790611.6
- 公开(公告)号：CN204230280U
- 申请日：20141211
- 公开(公告)日：20150325
- 申请人：东方日升新能源股份有限公司
- 发明人：陈波,崔红星,张文锋,胡应全,林海峰
- 申请人地址：315609 浙江省宁波市宁海县梅林塔山工业园区东方日升新能源股份有限公司
- 申请人区域代码：CN330226
- 专利权人：东方日升新能源股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01L31/18,H01L21/67,C30B33/10
- 优先权：无
- 专利代理机构：无
- 代理人：无
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
绒槽,储液,热交换,输液管,硅片,滚轮,压轮,硅片减薄,喷淋装置,温度均匀,颜色分布,成品率,回流管,均匀性,毛细管,冰机,喷孔,液位,溢流
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