著录信息
- 专利名称：化学浴沉积设备和制备ZnS薄膜的方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201510166863.0
- 公开(公告)号：CN104762611B
- 申请日：20150409
- 公开(公告)日：20170531
- 申请人：深圳先进技术研究院,香港中文大学
- 发明人：张倩,杨春雷,顾光一,熊治雨,王婷婷,程亚,肖旭东
- 申请人地址：518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 申请人区域代码：CN440305
- 专利权人：深圳先进技术研究院,香港中文大学
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C18/00
- 优先权：无
- 专利代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
- 代理人：吴平
- 审查员：王姗
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
薄膜太阳能电池,化学浴沉积,反应器皿,反应面,化学浴,液面,冲刷,制备,分部,薄膜材料,厚度可控,均匀致密,快速制备,制造成本,缓冲层,薄膜,应用
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