著录信息
- 专利名称：一种具有双旋转机构的OLED镀膜机
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201310209692.6
- 公开(公告)号：CN103243307B
- 申请日：20130529
- 公开(公告)日：20150429
- 申请人：东南大学,江苏豪迈照明科技有限公司
- 发明人：吕家东,陈宗烈,龚仕宏,何荣开
- 申请人地址：210096 江苏省南京市四牌楼2号
- 申请人区域代码：CN320102
- 专利权人：东南大学,江苏豪迈照明科技有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C14/50,C23C14/24,C23C14/12
- 优先权：无
- 专利代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204
- 代理人：张弛
- 审查员：许羽冬
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
旋转机构,真空室,旋转,钼舟,真空抽气系统,通电加热,筒形支架,镀膜机,支架,电源指示,动力系统,加热系统,膜层厚度,温度指示,转速指示,扰动,室内部,均化,下部,蒸镀,上部,装卸,仪表,固定
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