著录信息
- 专利名称：一种机械手晶圆定心装置及方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201310566847.1
- 公开(公告)号：CN104626151B
- 申请日：20131113
- 公开(公告)日：20160629
- 申请人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
- 发明人：褚明杰,曲道奎,徐方,刘世昌,邹风山,杨奇峰
- 申请人地址：110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请人区域代码：CN210112
- 专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：B25J9/18
- 优先权：无
- 专利代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
- 代理人：许宗富
- 审查员：任大林
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
机械手,嵌入式CPU模块,晶圆,采集电路,地址数据,定心装置,伺服轴,驱动器,串行中断信号,输出控制指令,传感器信号,输出,控制信号,灵活配置,实际中心,故障点,成对,偏位,示教,锁存,电路,采集,传输,转换,纠正
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