著录信息
- 专利名称：一种热绝缘微桥结构及其加工方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN200710067914.X
- 公开(公告)号：CN101249935B
- 申请日：20070331
- 公开(公告)日：20110622
- 申请人：浙江大立科技股份有限公司
- 发明人：姜利军,罗雯雯
- 申请人地址：310053 浙江省杭州市滨康路639号
- 申请人区域代码：CN330108
- 专利权人：浙江大立科技股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：B81B3/00,B81C1/00
- 优先权：无
- 专利代理机构：浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100
- 代理人：徐关寿
- 审查员：姚宇鹯
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
微桥结构,微桥,皱褶结构,悬臂梁,凹槽结构,牺牲材料,牺牲层,衬底,沉积,微机电系统技术,红外线辐射源,微细加工方法,红外探测器,气体探测器,微机电系统,绝热,衬底表面,加工方法,加热平台,填充因子,材料层,制冷,生长
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