著录信息
- 专利名称：一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201310676060.0
- 公开(公告)号：CN103834934B
- 申请日：20131211
- 公开(公告)日：20160511
- 申请人：南方科技大学
- 发明人：何祝兵,王春柱,苏奇聪
- 申请人地址：518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
- 申请人区域代码：CN440305
- 专利权人：南方科技大学
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C16/52
- 优先权：无
- 专利代理机构：广州三环专利代理有限公司 44202
- 代理人：郝传鑫;熊永强
- 审查员：金桂香
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
控制设备组,监控设备,工艺操作,以太网交换机,数据处理,等离子体增强化学气相沉积,数据记录查询,参数配置,控制工艺,控制系统,实时监控,远程监控,反应室,装载室,连接,一种,执行,传输,操作,满足,公开
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