著录信息
- 专利名称：去除单晶硅埚底料中石英的装置及其方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201210154685.6
- 公开(公告)号：CN102671885B
- 申请日：20120518
- 公开(公告)日：20140402
- 申请人：宁夏隆基硅材料有限公司,银川隆基硅材料有限公司,西安隆基硅材料股份有限公司,无锡隆基硅材料有限公司
- 发明人：潘永娥,崔巍
- 申请人地址：755100 宁夏回族自治区中卫市中宁县新堡镇团结南路
- 申请人区域代码：CN640521
- 专利权人：宁夏隆基硅材料有限公司,银川隆基硅材料有限公司,西安隆基硅材料股份有限公司,无锡隆基硅材料有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：B08B3/08,C30B15/00,C30B29/06
- 优先权：无
- 专利代理机构：西安弘理专利事务所 61214
- 代理人：罗笛
- 审查员：朱营琢
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
反应釜,保温筒,盖板,石英,单晶硅埚底料,加热器,氢氟酸,温控,显示器,相关工作参数,恒温水浴法,内外壁,埚底料,加注,内底,自来水
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