无锡华润华晶微电子有限公司专利CN201120558141.7介绍
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专利名称:
一种具有支撑脚的石英母舟
专利类型:
实用新型
申请号:
CN201120558141.7
公开(公告)号:
CN202651077U
申请日:
20111228
公开(公告)日:
20130102
申请人:
无锡华润华晶微电子有限公司
发明人:
潘之炜,季勇,周宇凡,蒋凯
申请人地址:
214028 中国无锡市国家高新技术产业开发区信息产业科技园C座2楼
申请人区域代码:
CN320211
专利权人:
无锡华润华晶微电子有限公司
洛迦诺分类:
无
IPC:
H01L21/67
优先权:
无
专利代理机构:
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人:
臧霁晨;王忠忠
审查员:
无
国际申请:
无
国际公开(公告):
无
进入国家日期:
无
分案申请:
无
关键词
支撑脚,石英,石英舟,底部,变形,承载
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