著录信息
- 专利名称：激光烧蚀单元
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201480029211.6
- 公开(公告)号：CN105324832B
- 申请日：20140324
- 公开(公告)日：20171110
- 申请人：苏黎世联邦理工学院,保罗·谢勒学院
- 发明人：德特勒夫·巩特尔,丹尼尔·格罗利蒙德,浩·王
- 申请人地址：瑞士苏黎世
- 申请人区域代码：CH
- 专利权人：苏黎世联邦理工学院,保罗·谢勒学院
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01J49/04,H01J49/10
- 优先权：EPPCT/EP2013/056115 20130322
- 专利代理机构：北京安信方达知识产权代理有限公司 11262
- 代理人：汤慧华;郑霞
- 审查员：郭冰冰
- 国际申请：PCT/EP2014/055874 20140324
- 国际公开(公告)：WO2014/147260 20140925
- 进入国家日期：20151120
- 分案申请：无
关键词
流道,气雾剂,样本,激光烧蚀,样本室,电感耦合等离子体质谱仪,侧向,侧向开口,成像应用,烧蚀材料,质量分布,激光束,冲洗,地层,激光,邻近
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