著录信息
- 专利名称:区熔单晶炉中夹持针的调整控制装置
- 专利类型:发明
- 申请号:CN201310626975.0
- 公开(公告)号:CN104746132B
- 申请日:20131128
- 公开(公告)日:20170606
- 申请人:有研半导体材料有限公司
- 发明人:梁书正
- 申请人地址:101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
- 申请人区域代码:CN110113
- 专利权人:有研半导体材料有限公司
- 洛迦诺分类:无
- IPC:C30B13/28
- 优先权:无
- 专利代理机构:北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100
- 代理人:刘秀青;熊国裕
- 审查员:周琼
- 国际申请:无
- 国际公开(公告):无
- 进入国家日期:无
- 分案申请:无
关键词
夹持针,可移动支撑,托杆,夹持机构,牵引钢丝,一次夹持,轴杆连接,导轨,支架,电机,调整控制装置,连接传动杆,区熔单晶炉,动态设置,固定夹持,连接移动,人为干预,上下摆动,一端连接,支架导轨,支架移动,上端,圆心,传动杆,可移动,控制夹,针支架,下端,投放,移动
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