著录信息
- 专利名称：合成多晶硅原料三氯氢硅的方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN200810028426.2
- 公开(公告)号：CN101279734B
- 申请日：20080530
- 公开(公告)日：20100602
- 申请人：广州吉必盛科技实业有限公司
- 发明人：王跃林,刘莉,龙成坤
- 申请人地址：510450 广东省广州市广花一级公路塘贝段
- 申请人区域代码：CN440103
- 专利权人：广州吉必盛科技实业有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C01B33/107
- 优先权：无
- 专利代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
- 代理人：秦雪梅;万志香
- 审查员：陈冠钦
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
三氯氢硅,合成炉,四氯化硅,混合气体,氯化氢,硅粉,多晶硅原料,隔膜压缩机,氯化氢气体,冷凝,氢气,氯硅烷,冷媒,收率,底部,加压,粉尘,干燥
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