著录信息
- 专利名称：单晶硅端面垂直测试装置
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN200920254987.4
- 公开(公告)号：CN201607205U
- 申请日：20091214
- 公开(公告)日：20101013
- 申请人：晶龙实业集团有限公司,宁晋晶峰电子材料有限公司
- 发明人：吴涛,吕思迦,李双凯
- 申请人地址：055550 河北省宁晋县高新技术开发区
- 申请人区域代码：CN130528
- 专利权人：晶龙实业集团有限公司,宁晋晶峰电子材料有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：G01B5/245
- 优先权：无
- 专利代理机构：石家庄国为知识产权事务所 13120
- 代理人：李荣文
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
底座,单晶硅,测试端面,产品成品率,端面垂直度,垂直测试,平整度,垂线,硅棒,生产成本,平行,监视,检测,连接
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