著录信息
- 专利名称：α-重氮-1,3-二酮类化合物及由其制备的感光高分子聚合物
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201010103810.1
- 公开(公告)号：CN101830827B
- 申请日：20100127
- 公开(公告)日：20140813
- 申请人：惠州市容大油墨有限公司,北京师范大学
- 发明人：邹应全,刘陆,牛辉楠,吴君丽
- 申请人地址：516347 广东省惠州市惠东县稔山镇海滨城开发区
- 申请人区域代码：CN441323
- 专利权人：惠州市容大油墨有限公司,北京师范大学
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C07C245/18,C08F220/36,C08F220/60,C08F220/06,C08F220/14,C08F220/20,C08F220/18,C08F220/28
- 优先权：无
- 专利代理机构：北京北翔知识产权代理有限公司 11285
- 代理人：钟守期;唐铁军
- 审查员：孙文倩
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
聚合物,感光高分子,酮类化合物,光致抗蚀剂组合物,化学增幅型抗蚀剂,抗蚀剂组合物,光致抗蚀剂,聚合物制备,成膜树脂,化学增幅,制备方法,表皮层,单组分,抗蚀剂,分辨率,波长,化合物,感光,线宽,延迟
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