1.真空科学与技术、真空工程;
2.表面科学与技术;
3.应用表面科学与技术;
4.纳米科学与技术;
5.纳米生物与生物界面;
6.薄膜生长机理、制备技术和应用;
7.真空获得与测量、质谱分析与检漏;
8.真空冶金与表面工程;
9.电子材料与器件、真空微纳电子学;
10.等离子体物理与技术;
11.显示技术;
12.真空外延材料与器件;
13.大科学装置;
14.其它相关科学技术。