著录信息
- 专利名称：固体金属有机化合物封装容器串联系统
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201420117857.7
- 公开(公告)号：CN203782229U
- 申请日：20140317
- 公开(公告)日：20140820
- 申请人：江苏南大光电材料股份有限公司
- 发明人：吕宝源,沈斌,韦锦昊,单一菁,陆平,王萍,高磊
- 申请人地址：215123 江苏省苏州市翠薇街9号月亮湾国际中心7楼
- 申请人区域代码：CN320503
- 专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C16/455,C23C16/448,C23C16/18
- 优先权：无
- 专利代理机构：南京天华专利代理有限责任公司 32218
- 代理人：徐冬涛
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
有机化合物,固体金属,出气管,进气管,串联,连接,连接管,复数,金属有机化学气相沉积,串联系统,封装容器,容置空间,蒸气气压,制程设备,出气阀,进气阀,套件,接管,浪费
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