著录信息
- 专利名称：石英舟检具
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201620887473.2
- 公开(公告)号：CN205898002U
- 申请日：20160816
- 公开(公告)日：20170118
- 申请人：常州亿晶光电科技有限公司
- 发明人：吴俊,邹海军,吴佳俊,王少华,吴家宏,张凯胜,姚伟忠,孙铁囤
- 申请人地址：213213 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
- 申请人区域代码：CN320482
- 专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：G01B5/00
- 优先权：无
- 专利代理机构：常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258
- 代理人：郑云
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
石英舟,底板,自动化设备,定位座,本实用新型,检具,卡槽,立柱,滑动设置,间距分布,检测设备,判断标准,基准槽,硅片,产能,滑片,匹配,破损,检验,统一
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