著录信息
- 专利名称：一种减反射膜制备炉的温度控制方法及装置
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201110448300.2
- 公开(公告)号：CN103187335B
- 申请日：20111228
- 公开(公告)日：20161214
- 申请人：中建材浚鑫科技股份有限公司
- 发明人：麻晓园
- 申请人地址：214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
- 申请人区域代码：CN320281
- 专利权人：中建材浚鑫科技股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01L21/67,H01L21/205
- 优先权：无
- 专利代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司 11227
- 代理人：逯长明
- 审查员：周忠饶
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
炉管,温区,减反射膜,制备炉,微调,工艺特性,物理结构,反射膜,均匀性,保证
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