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著录信息

  • 专利名称:一种卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置
  • 专利类型:发明
  • 申请号:CN200910181458.0
  • 公开(公告)号:CN101629283B
  • 申请日:20090716
  • 公开(公告)日:20110427
  • 申请人:江苏双登集团有限公司
  • 发明人:郝三存,邵双喜,李丹,段和勋
  • 申请人地址:225526 江苏省姜堰市梁徐镇双登科工园1号
  • 申请人区域代码:CN321284
  • 专利权人:江苏双登集团有限公司
  • 洛迦诺分类:
  • IPC:C23C16/54,C23C16/50
  • 优先权:
  • 专利代理机构:南京天华专利代理有限责任公司 32218
  • 代理人:徐冬涛;瞿网兰
  • 审查员:彭梅香
  • 国际申请:
  • 国际公开(公告):
  • 进入国家日期:
  • 分案申请:

关键词

真空室,柔性基体材料,卷绕,传送导轨,柔性基体,沉积,表面张力,等离子体增强化学气相沉积,传送过程,精确控制,快速冷却,运输效率,真空腔室,加热室,卷对卷,冷却辊,热收缩,张紧轮,导轨,张力,平整
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