著录信息
- 专利名称:一种卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置
- 专利类型:发明
- 申请号:CN200910181458.0
- 公开(公告)号:CN101629283B
- 申请日:20090716
- 公开(公告)日:20110427
- 申请人:江苏双登集团有限公司
- 发明人:郝三存,邵双喜,李丹,段和勋
- 申请人地址:225526 江苏省姜堰市梁徐镇双登科工园1号
- 申请人区域代码:CN321284
- 专利权人:江苏双登集团有限公司
- 洛迦诺分类:无
- IPC:C23C16/54,C23C16/50
- 优先权:无
- 专利代理机构:南京天华专利代理有限责任公司 32218
- 代理人:徐冬涛;瞿网兰
- 审查员:彭梅香
- 国际申请:无
- 国际公开(公告):无
- 进入国家日期:无
- 分案申请:无
关键词
真空室,柔性基体材料,卷绕,传送导轨,柔性基体,沉积,表面张力,等离子体增强化学气相沉积,传送过程,精确控制,快速冷却,运输效率,真空腔室,加热室,卷对卷,冷却辊,热收缩,张紧轮,导轨,张力,平整
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