著录信息
- 专利名称：一种用于行波管的金刚石-电镀铜复合式夹持杆及其制造方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201310243953.6
- 公开(公告)号：CN103325645B
- 申请日：20130619
- 公开(公告)日：20161228
- 申请人：中国电子科技集团公司第十二研究所
- 发明人：丁明清,李莉莉,陈波,李力,冯进军
- 申请人地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥路13号
- 申请人区域代码：CN110105
- 专利权人：中国电子科技集团公司第十二研究所
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01J23/26,H01J23/27,H01J9/00
- 优先权：无
- 专利代理机构：工业和信息化部电子专利中心 11010
- 代理人：李勤媛
- 审查员：丁瑞平
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
金刚石,电镀铜,复合式,夹持杆,行波管,化学气相沉积,真空电子器件,研磨和抛光,表面电镀,表面形成,部件制造,高频结构,激光切割,金属化层,银铜焊料,硅腐蚀,硅基片,真空炉,基底,溅射,晶核,钎焊,加工,制造
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