著录信息
- 专利名称：一种铕掺杂的铁酸铋薄膜及其制备方法和应用
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201410097917.8
- 公开(公告)号：CN103938156B
- 申请日：20140317
- 公开(公告)日：20160629
- 申请人：华东师范大学
- 发明人：刘建,翟学珍,曹辉义,周文亮,杨平雄,褚君浩
- 申请人地址：200062 上海市普陀区中山北路3663号
- 申请人区域代码：CN310107
- 专利权人：华东师范大学
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C14/06,C23C14/28
- 优先权：无
- 专利代理机构：上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257
- 代理人：董红曼
- 审查员：彭波南
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
衬底,靶材,铁酸铋薄膜,铕掺杂,制备,压强,脉冲激光器,薄膜沉积,光伏性能,光学带隙,溅射气压,结晶性能,漏电性能,硅衬底,缓冲层,镍酸镧,组成式,变小,镀膜,反转,氧压,正转,沉积,保温,清洗,取出,室内,应用
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