著录信息
- 专利名称：感应加热装置及感应加热方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201180038790.7
- 公开(公告)号：CN103069921B
- 申请日：20110728
- 公开(公告)日：20150603
- 申请人：三井造船株式会社
- 发明人：内田直喜,冈崎良弘,尾崎一博
- 申请人地址：日本东京都
- 申请人区域代码：JP
- 专利权人：三井造船株式会社
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01L21/205,H01L21/22,H01L21/324,H05B6/10,H05B6/44
- 优先权：JP2010-178725 20100809
- 专利代理机构：北京市柳沈律师事务所 11105
- 代理人：岳雪兰
- 审查员：孙长欣
- 国际申请：PCT/JP2011/067346 20110728
- 国际公开(公告)：WO2012/020652 20120216
- 进入国家日期：20130206
- 分案申请：无
关键词
加热线圈,感应加热线圈,感受器,热处理装置,晶片,垂直方向配置,区域控制装置,半导体基板,电磁耦合,电流波形,加热控制,间接加热,水平配置,相互感应,耦合线圈,耦合,电流,外周,平行,交流
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