著录信息
- 专利名称:一种各向异性磁阻坡膜合金固定易磁化轴的制备装置
- 专利类型:实用新型
- 申请号:CN201520472088.7
- 公开(公告)号:CN204732294U
- 申请日:20150630
- 公开(公告)日:20151028
- 申请人:贵州雅光电子科技股份有限公司
- 发明人:余涛,杨华,张文旭,彭斌
- 申请人地址:550018 贵州省贵阳市新添大道北段270号
- 申请人区域代码:CN520103
- 专利权人:贵州雅光电子科技股份有限公司
- 洛迦诺分类:无
- IPC:H01F41/14,H01F10/00
- 优先权:无
- 专利代理机构:贵阳中新专利商标事务所 52100
- 代理人:刘楠
- 审查员:无
- 国际申请:无
- 国际公开(公告):无
- 进入国家日期:无
- 分案申请:无
关键词
不需要,转盘,诱导磁场,靶枪,沉积,各向异性磁阻,易磁化轴取向,大面积薄膜,薄膜面积,磁性薄膜,加热基底,坡膜合金,入射粒子,一侧设置,易磁化轴,诱导生长,制备装置,实用,一种,薄膜,粒子,喷射,均匀,添加,出入,落入,生长,固定,限制,公开,有效,解决
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