著录信息
- 专利名称：一种台面整流器件的玻璃钝化形成工艺
- 专利类型：发明
- 申请号：CN200410093980.0
- 公开(公告)号：CN1302523C
- 申请日：20041221
- 公开(公告)日：20070228
- 申请人：天津中环半导体股份有限公司
- 发明人：魏庆忠,王道强,王有国,杜春倩,李朴革
- 申请人地址：300111天津市南开区黄河道495号
- 申请人区域代码：CN120104
- 专利权人：天津中环半导体股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01L21/31,H01L21/316
- 优先权：无
- 专利代理机构：天津中环专利商标代理有限公司
- 代理人：莫琪
- 审查员：白燕
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
台面,硅片,单晶硅,半导体器件,丙醇,电泳,玻璃钝化,处理工艺,钝化玻璃,硅整流器,环氧乙烷,铅系玻璃,台面沟槽,氧气气氛,乙酸乙脂,用电泳法,有效控制,聚合物,硝酸,电泳液,二元醇,均匀度,丙酮,反压,混酸,烧成,沉积,腐蚀,玻璃,扩散
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