著录信息
- 专利名称：一种直拉单晶用加热器
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201520860066.8
- 公开(公告)号：CN205115667U
- 申请日：20151030
- 公开(公告)日：20160330
- 申请人：西安通鑫半导体辅料有限公司
- 发明人：吴丹
- 申请人地址：710300 陕西省西安市户县沣京工业园潭滨北路3号
- 申请人区域代码：CN610125
- 专利权人：西安通鑫半导体辅料有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C30B15/14,C30B29/06
- 优先权：无
- 专利代理机构：西安弘理专利事务所 61214
- 代理人：罗笛
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
狭槽,加热器主体,第二端部,第一端部,发热单元,加热段,加热器,直拉单晶,一种,单晶硅,产品品质,交替设置,开口结构,温度梯度,低缺陷,低杂质,多个相,高拉速,高品质,实用,延伸,两个,开口,连接,优化,公开,适应,调整,进行
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