著录信息
- 专利名称：一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN200810232782.6
- 公开(公告)号：CN101474511B
- 申请日：20081217
- 公开(公告)日：20110504
- 申请人：西安通鑫半导体辅料有限公司
- 发明人：奚西峰,宋涵
- 申请人地址：710000 陕西省西安市沣京工业园潭滨北路3号
- 申请人区域代码：CN610125
- 专利权人：西安通鑫半导体辅料有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：B01D36/00,B01D37/00,C08J11/06,C08L71/08,C01B31/36
- 优先权：无
- 专利代理机构：西安通大专利代理有限责任公司 61200
- 代理人：惠文轩
- 审查员：李素燕
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
线切割,砂浆,硅晶圆,悬浮液,回收聚乙二醇,中空纤维超滤,碳化硅颗粒,悬浮液真空,单晶硅片,干法分级,离子交换,蒸馏,碳化硅,助滤剂,板框,固液,微孔,压滤,黏剂,过滤,干燥,回收
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