著录信息
- 专利名称：一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201410754619.1
- 公开(公告)号：CN104386683B
- 申请日：20141211
- 公开(公告)日：20170503
- 申请人：重庆墨希科技有限公司,中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 发明人：钟达,史浩飞,邵丽,张鹏飞,余杰
- 申请人地址：401329 重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号
- 申请人区域代码：CN500107
- 专利权人：重庆墨希科技有限公司,中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C01B32/184
- 优先权：无
- 专利代理机构：无
- 代理人：无
- 审查员：顾明杰
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
上夹具,下夹具,底板,石墨烯薄膜,生产工装,固定柱,薄膜支撑层,固定石墨,生产效率,催化基,凹陷,刻蚀,生长,制造
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