沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

芯源公司总部位于沈阳市浑南区，并在上海临港设有全资子公司。公司总部占地4万平米，拥有专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。芯源公司通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系，已拥有授权专利212项，其中发明专利159项。沈阳芯源公司作为国内知名的高端半导体装备制造企业，所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。芯源公司连续承担国家02科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目。

2019年12月16日，芯源公司在上交所科创板上市，借力资本市场，芯源将加速提升企业的创新能力和产品成套能力，以先进可靠的产品和优质服务赢得客户信赖，为客户提供先进的半导体设备，助推产业技术进步。