珠海恒格微电子装备有限公司是一家专注新型等离子体工业应用设备研发、生产及销售的高新技术企业,总部位于珠海,在全国多地设有办事处及销售、售后服务中心。
集团产品多元化覆盖于三大领域:PCB/载板领域、传统封装与LED光电领域、半导体领域。
4大产品线:
1、等离子清洗设备,微波等离子刻蚀设备。
2、等离子深沟槽刻蚀(TSV/TGV/TCV)设备,等离子去胶设备。
3、解决“卡脖子”工艺的全氟密封圈材料。
4、半导体产线整体解决方案。
公司与电子科技大学携手创办“电子薄膜与集成器件全国重点实验室等离子装备与应用技术研究中心”。