博开科技BWOKAI

浙江博开机电科技有限公司创立于2009年3月，是国家级专精特新“小巨人”企业与高新技术企业。公司在超低温制冷机、低温真空泵方面突破了关键设计技术和制造工艺难题，解决了大量卡脖子问题，实现核心技术及部件的自主可控，研制成功应用于不同领域的系列化的低温制冷机、不同口径的低温真空泵等产品。现有低温泵系列包含200-1800型号，配套的GM制冷机系列产品已开发4K、10K、70K等型号，极限低温可达-271℃，极限真空度可达10-9Pa。公司自主研发的智能型超高真空冷泵，不仅能快速建立并稳定维持10⁻⁷Pa级别的超高真空环境，还比传统产品节能30%以上。该产品已成功应用于国内多家主流半导体晶圆厂，在PVD、离子注入等核心装备上实现了国产化替代。

公司核心团队在低温、真空领域有十六余年技术积累。公司低温真空泵具备完全的自主知识产权，主打抽速大、极限真空度高、运行成本低等特点，旨在替代进口产品，主要服务于半导体和泛半导体行业的镀膜制造工艺、航空航天等领域，公司产品打破了国外长期垄断，并已覆盖全国、推向全球。企业总部位于浙江金华，构建了“金华总部 + 合肥研发销售中心”的双中心发展格局。公司秉持“规范、高效、专业、超越”的核心理念，深耕行业十六载，致力于打造中国低温真空行业标杆，为高端制造与前沿科研提供核心支撑。

核心业务与产品

1.公司聚焦低温真空产品的研发、生产、销售及技术服务，形成三大核心产品体系：

低温真空泵系列：覆盖200mm—1800mm全口径规格，含DZB系列、IG系列等，采用无油设计，可实现10-7 Pa级超高洁净真空，适配半导体先进制程等场景。

氦气压缩机系统：推出HC50W、HC80W、HC200W三大型号，以99.999%高纯氦气为介质，可与低温制冷机无缝衔接，广泛应用于半导体生产线。

水汽捕集器：通过专利级低温冷凝技术，精准捕集水蒸气及高沸点蒸汽，为高洁净度真空环境提供保障。

技术创新与资质

公司以技术创新为核心竞争力，组建专业研发团队并与高等院校深度合作，累计拥有46项专利、3项软件著作权及1个注册商标，2025年最新申请的“一种低温制冷机及制冷方法”专利显著提升制冷效率。产品通过ISO9001、CE等多项国际认证，凭借自主核心技术打破国外品牌在高端市场的垄断，实现国产化替代。

市场与服务

公司产品广泛服务于集成电路制造、平板显示、新材料研究等战略新兴领域，远销海外，已在国内多家头部半导体企业7nm工艺生产线成功应用，助力芯片良率提升。建立全周期服务体系，提供从售前方案咨询、售中调试到售后维护的一站式解决方案，全国服务网点保障快速响应。

浙江博开机电科技有公司，创立于2009年3月，实缴资本1000万元，2025年11月引入智路资本，是一家致力于将超低温、超高真空技术在半导体及泛半导体、核技术、高端仪器、光学镀膜等领域中应用落地并形成产业化的高科技企业。公司现有员工100+，管理团队具备理、工、管专业背景，在超低温、超高真空行业具有16年以上研发、生产、市场、供应链管理等范围的丰富经验。研发人员人数占比超30%。