深圳市埃芯半导体科技有限公司是一家半导体设备高科技公司,专业从事半导体晶圆制造前道量测和检测设备的研发、制造和销售。产品涵盖光学薄膜量测、光学关键尺寸量测、光学衍射套刻量测、光学集成量测、X射线薄膜量测、X射线材料性能量测、X射线成分及表面污染量测等系列产品及解决方案。产品规格匹配国际水准,支持先进逻辑工艺、先进DRAM工艺及先进3DNAND量测。
公司总部在深圳设有研发及生产基地,在上海、武汉、北京、合肥、成都设有分公司和办公室,核心团队来自全球半导体行业先进技术专家及全球科研机构资深研究人员。埃芯注重底层技术创新,光学及X射线量测核心技术自主研发,拥有自主知识产权的软件平台及核心算法。通过科研机构合作,引领技术及产品持续创新。重视供应链安全,推行关键部件自研或国产化。
| 标准号 | 标准名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准详情 |
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| GB/T 44375-2024 | 300mm半导体设备装载端口要求 | 2024-08-23 | 2025-03-01 | 详情 |