微纳科技

北京金盛微纳科技有限公司为国家高新技术企业、中关村高新技术企业，中国真空学会理事单位，中国电子专用设备工业协会、中国微米纳米技术学会会员单位。主要从事半导体设备、微细加工设备的产品研制、设计开发、生产销售，并开展相关工艺的研究及应用。主要产品有：匀胶机（SC）、烘胶台（BP）、曝光机、刻蚀机（RIE、ICP、IBE）、等离子体淀积台（PECVD）、磁控溅射台（Sputter）、去胶机、溅射/刻蚀/淀积一体机、键合炉等。产品应用范围涉及微电子、光电子、LED、MEMS、传感器、平板显示、通讯等领域，主要用于科研机构、大专院校、生产企业和公司进行各种器件的研究、开发和批量生产。

公司建有微细加工工艺示范线以开放实验室的形式对各大专院校、研究院所、企业等相关研究、生产单位开放。在开放实验室里用户可获得：设备选型、项目预研与立项、合作攻关、工艺培训、外协加工等服务支持。