恒运昌CSL

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司成立于2013年3月，总部位于深圳市宝安区，是国内领先的大规模集成电路晶圆前道薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制，真空获得与计量零部组件的设计、研发、生产、销售及技术服务。

公司已获得ISO9001、ISO14001体系的认证，同时还是国家专精特新“小巨人”、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家高新技术企业、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省射频开关电源工程技术研究中心，并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步一等奖、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。

公司将持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产，为客户提供全面的一体化解决方案，践行社会责任，深耕产业，彰显担当，为国家集成电路装备产业的高质量发展贡献力量。