浙江晶盛机电股份有限公司创建于2006年,于2012年上市。
晶盛机电围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备,并延伸至化合物衬底材料领域,为半导体、光伏行业提供全球颇具竞争力的高端装备和高品质服务。
晶盛机电是全球光伏装备技术前沿和规模前沿的企业,国内集成电路级8-12英寸大硅片生长及加工设备先导企业,公司大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术具备强大的竞争力,是掌握核心技术和规模优势的龙头企业。公司为半导体产业、光伏产业和化合物衬底产业提供智能化工厂解决方案,满足客户数字化智能化的生产模式需求。
| 专利号/专利申请号 | 专利名称 | 专利详情 |
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| CN201620990215.7 | 一种金刚线硅锭开方机的切割室 | 详情 |
| CN201720148334.2 | 一种多晶硅铸锭炉加热器 | 详情 |
| CN201320478978.X | 能供多炉台共用的外部连续投料装置 | 详情 |
| CN201420085056.7 | 一种CUSP磁场发生装置线圈 | 详情 |
| 标准号 | 标准名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准详情 |
| GB/T 40577-2021 | 集成电路制造设备术语 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | 详情 |