著录信息
- 专利名称：红外探测器像元应力的监控结构及监控方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN200810201308.7
- 公开(公告)号：CN101386401B
- 申请日：20081016
- 公开(公告)日：20131009
- 申请人：上海集成电路研发中心有限公司,浙江大立科技股份有限公司
- 发明人：康晓旭,姜利军
- 申请人地址：201203 上海市张江高科技园区碧波路177号华虹科技园4楼B区
- 申请人区域代码：CN310115
- 专利权人：上海集成电路研发中心有限公司,浙江大立科技股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：B81B7/02,G01J5/10,B81C1/00,B81C5/00
- 优先权：无
- 专利代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
- 代理人：郑玮
- 审查员：陆帅
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
红外探测器,金属反射层,金属电极,电极板,监控结构,敏感材料,翘曲,监控,图形化处理,电容特性,电容值随,工艺制造,极板间距,监控方法,应力影响,电容值,牺牲层,支撑层,极板,监测
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