著录信息
- 专利名称：一种电子管排气台
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201120105152.X
- 公开(公告)号：CN202018941U
- 申请日：20110412
- 公开(公告)日：20111026
- 申请人：成都旭光电子股份有限公司
- 发明人：曾朝东,韩建军
- 申请人地址：610500 四川省成都市新都区电子路172号
- 申请人区域代码：CN510114
- 专利权人：成都旭光电子股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01J9/385
- 优先权：无
- 专利代理机构：无
- 代理人：无
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
机械泵,烘箱,电源,扩散泵,排位,电气控制系统,电子管,超高真空,流量阀,工作台,电控,冷阱,毛刺,冷却空气管路,扩散泵电源,灯丝电源,控制线路,冷却空气,阳极电源,真空管路,离子流,排气台,连接,排气,底部,顶部,能耗
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