著录信息
- 专利名称：气致冷多晶硅铸锭炉的闭式冷却系统
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201120277027.7
- 公开(公告)号：CN202272988U
- 申请日：20110801
- 公开(公告)日：20120613
- 申请人：浙江晶盛机电股份有限公司,上虞晶信机电科技有限公司
- 发明人：曹建伟,石刚,傅林坚,叶欣,邱敏秀
- 申请人地址：312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
- 申请人区域代码：CN330682
- 专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司,上虞晶信机电科技有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C30B28/06,C30B29/06
- 优先权：无
- 专利代理机构：杭州中成专利事务所有限公司 33212
- 代理人：金祺
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
热交换,冷却气,多晶硅铸锭,冷却气通道,出气管路,进气管路,致冷,坩埚,气动力,坩埚底部温度,闭式循环,长晶过程,辐射降温,精确控制,均匀形核,冷却方法,冷却系统,气体出口,气体入口,下降速度,整体温度,硅熔体,冷却器,水冷式,支撑柱,泵组,闭式,底部,冷却,连接,内部
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