著录信息
- 专利名称：真空磁控溅射用旋转阴极靶
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201320302774.0
- 公开(公告)号：CN203320120U
- 申请日：20130529
- 公开(公告)日：20131204
- 申请人：广州市尤特新材料有限公司
- 发明人：肖世文,黄建威,肖盛荣
- 申请人地址：510880 广东省广州市花都区花山镇华侨工业园
- 申请人区域代码：CN440114
- 专利权人：广州市尤特新材料有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C14/35
- 优先权：无
- 专利代理机构：广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
- 代理人：谭英强
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
衬管,靶材,外螺纹,外壁,真空磁控溅射,内螺纹,内壁,旋转,阴极,螺纹连接,回收,连接
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