著录信息
- 专利名称：氧化锌锡薄膜及制备方法、薄膜晶体管及制备方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201210207834.0
- 公开(公告)号：CN103510086B
- 申请日：20120621
- 公开(公告)日：20151021
- 申请人：昆山维信诺显示技术有限公司,清华大学,北京维信诺科技有限公司
- 发明人：邱勇,赵云龙,段炼
- 申请人地址：215300 江苏省苏州市昆山市昆山高新区晨丰路188号
- 申请人区域代码：CN320583
- 专利权人：昆山维信诺显示技术有限公司,清华大学,北京维信诺科技有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C26/00,H01L29/786,H01L21/34
- 优先权：无
- 专利代理机构：北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
- 代理人：彭秀丽
- 审查员：何丹丹
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
氧化锌锡,薄膜晶体管,薄膜,制备方法,制备,前驱体材料,前驱体溶液,乙基己酸,亚锡,载流子迁移率,热处理程序,无定形材料,热处理,半导体层,薄膜形成,升温速率,一种,公开,涉及,解决,进行
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