著录信息
- 专利名称：一种电子级正硅酸四乙酯的制备方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201310747619.4
- 公开(公告)号：CN103772424B
- 申请日：20131231
- 公开(公告)日：20160127
- 申请人：贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
- 发明人：赵顺,王天喜,孙刚,祝飘,郭之军,汪忠发,蔡金刚,陈进
- 申请人地址：550014 贵州省贵阳市白云区新材料产业园388号
- 申请人区域代码：CN520113
- 专利权人：贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C07F7/04
- 优先权：无
- 专利代理机构：贵阳东圣专利商标事务有限公司 52002
- 代理人：徐逸心;袁庆云
- 审查员：许敏
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
正硅酸四乙酯,制备方法,电子级,一种,化学气相沉积,阳离子交换塔,板式蒸馏塔,半导体行业,工业规模化,微孔过滤器,亚沸蒸馏器,产品成本,金属杂质,提纯设备,微量金属,有机杂质,络合剂,乙醇,石英,络合,水份,去除,过滤,涉及,生产
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