著录信息
- 专利名称：能够防止硅片上浮的硅片筐提手
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201420851682.2
- 公开(公告)号：CN204375780U
- 申请日：20141229
- 公开(公告)日：20150603
- 申请人：吉林华微电子股份有限公司
- 发明人：曲蕾,车陆,李军,于雄飞
- 申请人地址：132013 吉林省吉林市深圳街99号
- 申请人区域代码：CN220211
- 专利权人：吉林华微电子股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：H01L31/18
- 优先权：无
- 专利代理机构：长春菁华专利商标代理事务所 22210
- 代理人：陶尊新
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
横挡,硅片,下部,上浮,腐蚀,两侧,右端,左端,半导体器件芯片,腐蚀液,有两种,横梁,滚轮,套管,提手,液面,平行,右侧,转动,左侧,露出,连接,脱离,接触,停止
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