著录信息
- 专利名称：一种AZO透明导电薄膜的制备方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201410141358.6
- 公开(公告)号：CN103938210B
- 申请日：20140410
- 公开(公告)日：20160817
- 申请人：三峡大学,湖北三峡新型建材股份有限公司
- 发明人：孙宜华,陈剑,吕鑫,方亮,王海林
- 申请人地址：443002 湖北省宜昌市大学路8号
- 申请人区域代码：CN420502
- 专利权人：三峡大学,湖北三峡新型建材股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C28/04,C23C18/12,C23C14/06,C23C14/35
- 优先权：无
- 专利代理机构：宜昌市三峡专利事务所 42103
- 代理人：成钢
- 审查员：赵亚斌
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
制备,磁控溅射法,薄膜,透明导电薄膜,应用前景广阔,薄膜光电,玻璃基片,低温条件,光电材料,使用寿命,综合性能,附着性,凝胶法,凝胶,沉积
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