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著录信息

  • 专利名称:氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金
  • 专利类型:发明
  • 申请号:CN201110262891.4
  • 公开(公告)号:CN102409300B
  • 申请日:20110907
  • 公开(公告)日:20130814
  • 申请人:三峡大学,孙宜华,湖北三峡新型建材股份有限公司
  • 发明人:孙宜华,吕鑫
  • 申请人地址:443002 湖北省宜昌市大学路8号
  • 申请人区域代码:CN420502
  • 专利权人:三峡大学,孙宜华,湖北三峡新型建材股份有限公司
  • 洛迦诺分类:
  • IPC:C23C14/34,C23C14/08,B23K1/19,B23K35/26,C22C13/00
  • 优先权:
  • 专利代理机构:宜昌市三峡专利事务所 42103
  • 代理人:成钢
  • 审查员:赵亚斌
  • 国际申请:
  • 国际公开(公告):
  • 进入国家日期:
  • 分案申请:

关键词

背板,连接,陶瓷靶材,溅射靶,氧化物陶瓷,功率密度,钎焊合金,靶材,合金,钎料润湿性,抗剪强度,连接材料,连接强度,特定含量,稳定溅射,真空溅射,制备方法,低成本,高效率,过渡层,三元系,极薄
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