著录信息
- 专利名称：一种氧化物陶瓷溅射靶的制备方法
- 专利类型：发明
- 申请号：CN201110262874.0
- 公开(公告)号：CN102409299B
- 申请日：20110907
- 公开(公告)日：20140806
- 申请人：三峡大学,孙宜华,湖北三峡新型建材股份有限公司
- 发明人：孙宜华,吕鑫
- 申请人地址：443002 湖北省宜昌市大学路8号
- 申请人区域代码：CN420502
- 专利权人：三峡大学,孙宜华,湖北三峡新型建材股份有限公司
- 洛迦诺分类：无
- IPC：C23C14/34,C23C14/08,B23K1/19,B23K35/26,C22C13/00
- 优先权：无
- 专利代理机构：宜昌市三峡专利事务所 42103
- 代理人：成钢
- 审查员：张占江
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
背板,连接,陶瓷靶材,溅射靶,氧化物陶瓷,功率密度,钎焊合金,靶材,合金,钎料润湿性,抗剪强度,连接材料,特定含量,稳定溅射,真空溅射,制备方法,低成本,高效率,过渡层,极薄
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