一、玻璃基板的原材料是什么?
玻璃基板的性能从根本上取决于原材料的品质与配比。其核心原料为高纯石英砂(主要成分为二氧化硅),占原料总量的70%至75%。石英砂需经过淘洗、浮选、精炼等预处理工序,以去除杂质,获得所需的粒度与纯度。
除石英砂外,还需添加多种功能性助剂。氧化铝(Al₂O₃)可提升玻璃的机械强度与化学稳定性;硼酸(H₃BO₃)或硼酐(B₂O₃)能降低玻璃的熔融温度,改善成型性能;碳酸锶(SrCO₃)和碳酸钡(BaCO₃)等则作为调整物,用于调节玻璃的热膨胀系数等物理化学性质。此外,纯碱(Na₂CO₃)和石灰石(CaCO₃)等也常作为助熔剂使用。值得注意的是,用于显示领域的无碱玻璃基板对碱金属含量有严格要求(总含量在1%以下),所有原材料均需达到电子级超高纯度标准(4N至6N),即纯度在99.99%至99.9999%之间。
二、玻璃基板生产工艺流程是什么?
玻璃基板的生产流程可分为前端和后端两大部分。
1. 原料预处理与配合料制备。高纯石英砂等原料进厂后,首先进行均化处理,以确保批次间成分的稳定性。随后按照精确的配方比例与其他原料混合、搅拌均匀,形成配合料。
2. 高温熔融与均化澄清。配合料被输送至玻璃熔窑中,在1500℃至1600℃的高温下进行熔融。在此过程中,各原料发生复杂的物理化学反应,形成熔融玻璃液。然而,此时玻璃液中仍存在大量气泡和成分不均的现象,需通过澄清和均化两道工序加以改善。澄清过程通常在高温下进行,有时会添加三氧化二砷、硫酸盐等澄清剂以加速气泡排出;均化则通过铂金搅拌棒的机械搅拌或鼓泡等方式,使玻璃液成分达到高度均匀。
3. 成型。成型是决定玻璃基板尺寸、厚度与表面质量的核心环节。目前主流的成型工艺有三种:
溢流下拉法:熔融玻璃液由供料部进入溢流道,从两侧溢流后顺着楔形体表面向下流动,在楔形体底边处汇合形成玻璃带。该工艺的突出优势在于玻璃带两外表面仅与空气接触,不与任何固体或液体接触,因此无需研磨或抛光等后加工即可获得具有双原始玻璃表面的超薄基板。目前,溢流下拉法已成为TFT-LCD玻璃基板的主流生产工艺。
浮法:将熔融玻璃液连续流入锡液表面,在重力和表面张力作用下自然摊平,经冷却后由传动辊牵引离开锡槽。该工艺生产效率高,适合大尺寸基板的大规模生产。
流孔下引法:玻璃液通过流孔向下引出成型,但因成型过程中与金属滚轮直接接触,导致玻璃表面质量不高,需后续抛光处理,增加了加工难度。
4. 退火、切割与后加工。成型后的玻璃带需在退火炉中按特定温度曲线缓慢冷却,以消除内应力。退火完成后,玻璃带被切割成所需尺寸。对于半导体封装用玻璃基板,还需额外进行激光钻孔、湿法刻蚀、通孔金属化等精密深加工工序。最后,基板需经过严格的清洗与检测——清洗采用化学与物理相结合的方式去除表面污染物,检测则涵盖外观、尺寸精度、电气性能、热性能等多方面指标。