一、上游:核心原材料与生产设备(产业链高壁垒环节)
1、上游核心原材料
玻璃基板主材以高纯石英砂为核心,占原料总配比 70%-75%,纯度需达到 4N 至 6N 电子级标准;配套辅料包含高纯氧化铝、硼酸、碳酸锶等硼系粉体,用于调节玻璃热膨胀系数、降低碱金属含量。深加工环节配套电镀铜液、光刻胶、抛光液等精密化工辅材,直接影响基板通孔导电性能与表面平整度。无碱配方粉料是显示基板专属原料,可避免碱离子扩散损坏薄膜晶体管。
2、上游关键生产设备
原料制备端配备粉料混合机、铂金通道均化设备、电熔窑炉,支撑 1500-1700℃高温熔融成型;基板精密加工核心为 TGV 激光打孔设备,采用飞秒 / 皮秒激光完成微米级通孔加工;配套研磨抛光机、全自动清洗机、溅射镀膜机、电镀填孔设备、光学检测机,全流程设备对加工精度、洁净度要求极高,设备投入占产线总投资比重超六成。
二、中游:玻璃基板制造与精密深加工(产业链核心枢纽)
1、玻璃原片成型工序
主流采用溢流熔融下拉工艺,混合高纯粉料经熔窑熔融、铂金通道均质,通过溢流砖自然拉制形成双面火抛光超薄玻璃带,再经退火、在线粗检、裁切得到标准尺寸玻璃原片,分为高世代显示基板、半导体封装超薄基板两类。
2、基板精密深加工流程
原片完成超薄减薄、镜面抛光、无尘清洗后,进入 TGV 玻璃通孔工序;依次完成激光钻孔、孔壁阻隔层沉积、铜种子层溅射、电镀填孔、RDL 重布线、多层介质压合、表面平坦化,最后经 AOI 光学缺陷检测、分条裁切,产出可直接适配下游封装 / 面板产线的成品玻璃基板,该环节工艺整合难度最高,直接决定产品良率。
三、下游:终端应用与集成环节(产业链需求释放端)
平板显示领域:成品玻璃基板流入面板产线,作为 TFT 阵列、彩色滤光片承载基底,用于 LCD、OLED 各类显示屏幕生产,是传统玻璃基板最大应用市场。
半导体先进封装领域:TGV 玻璃基板适配 Chiplet 芯粒集成、HBM 存储堆叠、AI 算力芯片中介层,替代传统有机载板与硅中介层,适配高带宽、低损耗算力场景。
光电与特种场景:CPO 光电共封装基板、6G 射频载板、光学检测载具均使用特种玻璃基板,属于行业增量赛道。