1981年，考入合肥工业大学，先后获得学士、硕士学位。
1998年，获得北京航空航天大学博士学位。
2000年，被聘为中国科学院微电子研究所研究员和纳米加工与新器件集成技术研究室主任。
2018年，出任中国科学技术大学国家示范性微电子学院院长。
2022年08月11日，担任中芯国际董事会审计委员会成员。
2015年，当选中国科学院院士。
2017年03月08日，荣获中国科学院第五届“十大杰出妇女”荣誉称号。
2018年，当选为发展中国家科学院院士。
2007年，项目《中高频声表面波关键材料及技术研究》荣获“国家技术发明二等奖”。
2009年，项目《移动通讯用滤波器关键技术及产业化》荣获“国家科技进步二等奖”。
2010年，项目《微纳结构‘自上而下’制备核心技术与集成应用》荣获“北京市科学技术一等奖”。
2013年，项目《高精度微纳结构掩模制造核心技术》荣获“国家技术发明二等奖”。
2014年，项目《阻变存储器及集成的基础研究》荣获“北京市科学技术二等奖”。
