真空手套箱的使用方法 真空手套箱的使用注意事项

一、真空手套箱的使用方法

操作前

1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为0.5mpa。

2、检查真空泵是否正常开启。

3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个）

4、检查设定里的上限压力应为 1，下限压力为0。

5、检查氧和露点是否正常（氧为0.1ppm以下，露点-40以上）。

6、过渡舱真空泵应处于常开状态。

操作时

1、系统工作中真空泵应保持开启状态。

2、当箱内氧气浓度超出200PPM时，应通知设备维修人员进行系统操作，否则会破坏水、氧净化系统。

3、在启动循环前做检查，是否在进行箱体情况或再生。如以上提及的操作正在进行，绝对禁止进行循环。

4、两个净化柱不可以同时再生。

A、再生前先保证手套箱内已被惰性气体清洗干净（H2O<200ppm）保证足够的再生气体供应。再生气体压力为0.06-0.08mpa。

B、启动再生之前，请先确认相应的净化柱循环已关闭。

C、再生过程需要24小时，一旦执行不能被断开，再生开始后3-6小时通再生气体注意再生气的用量，适当调整再生气体的压力，包证再生气在这3小时的充足供应，第6小时后可以关闭再生气源。

D、再生过程中真空泵不可以关闭，不要触摸净化柱的顶部，以防烫伤。

E、再生一旦意外终止，请保证12小时内不能重新启动该净化柱的再生和循环否则将损坏设备。

5、作业中应注意保护作业手套不要被损坏。

二、真空手套箱的使用注意事项

1、请使用AC220V－50HZ的电源供电，同时注意设备的接地良好。

2、建议使用H2含量为5％－10％的混合气源。H2含量低于5％，系统还原效果差；H2含量高于10％，可能会产生爆炸。

3、使用的气源（混合气体或惰性气体）请保证其压力值X的范围如下：3kg≤X≤30kg（3bar≤X≤30bar；0.3MPA≤X≤3MPA）；当气源的压力值低于3kg时，系统不工作；当气源的压力值高于30kg时，管道可能会破裂。

4、气体净化系统补水箱内必须保证有充足的循环冷却水，否则系统工作时会产生高温。冷却水的水源禁止使用冰盐水或其他腐蚀性的液体。建议使用普通的自来水。

5、不得对真空手套箱箱体进行抽真空或充高正压，箱体承受压力范围为：-3000Pa～ 3000Pa。

6、不得击打、不得用利器划伤箱体玻璃面板。

7、在对过渡舱抽真空时必须将过渡舱内门、外门，过渡舱上的阀门以及过渡舱与箱体连接的阀门全部关闭（除“过渡舱真空阀”），以免使箱体形成负压而损坏箱体。

8、过渡舱内门和外门不得同时打开，以免外部气体直接扩散到箱体内，破坏洁净环境。

9、大过渡舱门要完全打开后才能推动门杆把门打开，以免擦刮破坏密封胶圈。

10、在开启过渡舱内门前必须先保证过渡舱和箱体之间的压力达到了平衡，否则过渡舱门无法开启，如强行开启会严重损坏过渡舱密封圈。

11、对过渡舱抽真空时，必须保证过渡舱内没有放置密闭常压（易碎）容器，以免损坏。

12、在对气体净化系统进行还原处理时必须保证有混合气体和惰性气体气源，否则不能启动系统的还原程序。

13、气体净化系统的冷却水出口必须为常开，不得安装阀门或堵上。

14、气体净化系统在进行净化程序时必须保证箱体与气体净化系统之间的连接管道是畅通的。

15、气体净化系统的废气排出口应单独连接，将废气排出室外或妥善处理。

16、真空泵在使用时须按说明书上的要求操作并保证有足够的真空泵油。当真空泵油需要添加或更换时，请使用真空泵专用油或该真空泵的原装真空泵油。