快速退火炉的主要功能和特点有哪些 快速退火炉的应用领域介绍

本文章由注册用户 知识百宝箱 上传提供 2023-03-14 评论 发布 纠错/删除 版权声明 0
摘要:快速退火炉是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃,从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷,改善产品性能。接下来本文将带来快速退火炉的主要功能和特点有哪些以及快速退火炉的应用领域介绍,感兴趣的小伙伴赶紧点进来看看吧!

一、快速退火炉的主要功能和特点有哪些

快速退火炉是用于快速热处理、热氧化处理、高温退火的设备,采用先进的微电脑控制系统,采用PID闭环控制温度,可以达到极高的控温精度和温度均匀性,并且可配置真空腔体,也可根据用户工艺需求配置多路气体。

主要功能和特点:

1、可视化7寸触摸屏,设定数据和操作都是图文界面,操作方便。

2、炉体配备高精度移动平台,运行平稳无抖动。

3、炉管可自由移动,且密封法兰之间用搭扣压紧连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能、减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能、当炉管移出炉膛时冷确风扇启动,可实现试样的迅速降温,满足材料骤冷骤热的实验要求。

4、炉膛采用进口多晶纤维真空吸附制成,采用进口红外线加热管加热,使用寿命可达5000小时,升温速度快,最高温度可达1050℃。

5、预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空系统、混气系统使用。

6、预留了485转换接口,可通过我司专用软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

7、设置超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠。

二、快速退火炉的应用领域介绍

了解了快速退火炉的功能和特点后,再来看看快速退火炉的应用领域介绍吧!

1、快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN)。

2、离子注入/接触退火。

3、金属合金。

4、热氧化处理。

5、化合物合金(砷化镓、氮化物等)。

6、多晶硅退火。

7、太阳能电池片退火。

8、高温退火。

9、高温扩散。

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