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扫描电子显微镜的原理是什么 扫描电子显微镜有哪些用途

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摘要:扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。接下来本文将重点介绍扫描电子显微镜的原理是什么以及扫描电子显微镜有哪些用途,一起到文中来看看吧!

一、扫描电子显微镜的原理是什么

扫描电子显微镜已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具,在正式使用之前,我们来看看扫描电子显微镜的原理是什么吧!

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其原理是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。

二、 扫描电子显微镜有哪些用途

扫描电子显微镜可应用于陶瓷材料分析、金属材料失效分析。在石油、地质、矿物领域,电子、半导体领域,医学、生物学领域,化工、高分子材料领域,公安刑侦工作领域,以及农、林业等方面都有广泛应用。

扫描电子显微镜可进行显微形貌分析,如果配备了其它分析仪器也可进行成分的常规微区分析,包括元素定量、定性成分分析。进行显微形貌分析时,空间分辨率可达亚微米级;能够进行晶界的状态测量,或者晶体/晶粒的相鉴定,以及晶体、晶粒取向测量等;进行微区成分分析时,能够通过快速的多元素面扫描和线扫描进行分布测量。

在现代产业化生产和科学研究中,扫描电子显微镜发展成为材料分析、监控工农业生产、保证产品质量、保障大生产流程安全高效的必要手段;同时在生物、环保、医学等有关人类的生存、发展领域的应用也日新月异;在军事现代高科技方面的发展(例如生物武器、化学武器战争、现场毒物检测、生命保障任务等)发挥了巨大的作用。

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